纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
6期
442-449
,共8页
原子力显微镜%补偿模式%扫描器%悬臂梁
原子力顯微鏡%補償模式%掃描器%懸臂樑
원자력현미경%보상모식%소묘기%현비량
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)是纳米尺度线宽成像和测量的重要工具.但系统的非线性和控制器参数选择的多样性导致AFM控制的不确定性,影响了AFM测量结果的精确性和重复性.为克服这个缺点,分析了AFM的测量原理和工作模式的特点,在此基础上提出了一种新的工作模式--补偿模式.在这种工作模式中,结合了扫描器和悬臂梁的位置信息而得到被测试样表面的形貌图像.与恒力接触模式相比,在补偿模式下,AFM能够在高速度下以更好的精确性和重复性进行成像和测量.仿真和实验结果证明了这种新工作模式的可行性和适用性.实验结果说明该工作模式可以提高扫描速度16倍或减小均方根误差到约1/5.
原子力顯微鏡(atomic force microscope,AFM)是納米呎度線寬成像和測量的重要工具.但繫統的非線性和控製器參數選擇的多樣性導緻AFM控製的不確定性,影響瞭AFM測量結果的精確性和重複性.為剋服這箇缺點,分析瞭AFM的測量原理和工作模式的特點,在此基礎上提齣瞭一種新的工作模式--補償模式.在這種工作模式中,結閤瞭掃描器和懸臂樑的位置信息而得到被測試樣錶麵的形貌圖像.與恆力接觸模式相比,在補償模式下,AFM能夠在高速度下以更好的精確性和重複性進行成像和測量.倣真和實驗結果證明瞭這種新工作模式的可行性和適用性.實驗結果說明該工作模式可以提高掃描速度16倍或減小均方根誤差到約1/5.
원자력현미경(atomic force microscope,AFM)시납미척도선관성상화측량적중요공구.단계통적비선성화공제기삼수선택적다양성도치AFM공제적불학정성,영향료AFM측량결과적정학성화중복성.위극복저개결점,분석료AFM적측량원리화공작모식적특점,재차기출상제출료일충신적공작모식--보상모식.재저충공작모식중,결합료소묘기화현비량적위치신식이득도피측시양표면적형모도상.여항력접촉모식상비,재보상모식하,AFM능구재고속도하이경호적정학성화중복성진행성상화측량.방진화실험결과증명료저충신공작모식적가행성화괄용성.실험결과설명해공작모식가이제고소묘속도16배혹감소균방근오차도약1/5.
