CAJ | 학술논문

采用直流溅射并结合热处理工艺制备氧化镍薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDX)考察退火温度对薄膜结构、形貌和组成的影响,并通过恒流充放电技术初步考察薄膜的电化学性能.结果表明,在400～500 ℃退火温度下制备了表面光滑、结构致密的NiO薄膜;随着退火温度的升高,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,晶形趋于完整;其中,500 ℃下退火2 h获得的NiO薄膜具有良好的电化学循环稳定性,有望成为高性能的全固态薄膜锂电池阳极材料.
채용직류천사병결합열처리공예제비양화얼박막,이용X사선연사의(XRD)、소묘전경(SEM)、능보의(EDX)고찰퇴화온도대박막결구、형모화조성적영향,병통과항류충방전기술초보고찰박막적전화학성능.결과표명,재400～500 ℃퇴화온도하제비료표면광활、결구치밀적NiO박막;수착퇴화온도적승고,박막적정립척촌축점증대,정형추우완정;기중,500 ℃하퇴화2 h획득적NiO박막구유량호적전화학순배은정성,유망성위고성능적전고태박막리전지양겁재료.