光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
7期
1296-1300
,共5页
马骥驰%李岩%孙文科%许婕
馬驥馳%李巖%孫文科%許婕
마기치%리암%손문과%허첩
纳米测量%法布里-珀罗(F-P)干涉仪%非线性误差校准%可调谐半导体激光
納米測量%法佈裏-珀囉(F-P)榦涉儀%非線性誤差校準%可調諧半導體激光
납미측량%법포리-박라(F-P)간섭의%비선성오차교준%가조해반도체격광
为了对激光十涉仪、高精度位移传感器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准,需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍F-P 干涉仪的线性度、稳定性及测量范围.在合理分析空气折射率变化及He-Ne激光器纵模调谐范围等因素对测量的影响基础上,设计并制作了密封干涉光路的真宅系统,并用调谐范围较大的半导体激光器作为工作激光器.实验结果表明,系统在大于1/4波长的行程范围内的线性度有明显的提高,最大非线性误差由8.93 nm减小至1.19 nm.
為瞭對激光十涉儀、高精度位移傳感器等測量繫統進行納米級精度的非線性誤差校準,需進一步提高中國計量科學研究院與清華大學閤作研製的差拍F-P 榦涉儀的線性度、穩定性及測量範圍.在閤理分析空氣摺射率變化及He-Ne激光器縱模調諧範圍等因素對測量的影響基礎上,設計併製作瞭密封榦涉光路的真宅繫統,併用調諧範圍較大的半導體激光器作為工作激光器.實驗結果錶明,繫統在大于1/4波長的行程範圍內的線性度有明顯的提高,最大非線性誤差由8.93 nm減小至1.19 nm.
위료대격광십섭의、고정도위이전감기등측량계통진행납미급정도적비선성오차교준,수진일보제고중국계량과학연구원여청화대학합작연제적차박F-P 간섭의적선성도、은정성급측량범위.재합리분석공기절사솔변화급He-Ne격광기종모조해범위등인소대측량적영향기출상,설계병제작료밀봉간섭광로적진택계통,병용조해범위교대적반도체격광기작위공작격광기.실험결과표명,계통재대우1/4파장적행정범위내적선성도유명현적제고,최대비선성오차유8.93 nm감소지1.19 nm.
