光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
2期
71-73,77
,共4页
光栅检测%硬件细分%上位机%重复定位精度
光柵檢測%硬件細分%上位機%重複定位精度
광책검측%경건세분%상위궤%중복정위정도
高精度扫描控制系统是现代扫描显微系统的重要组成部分,它影响着扫描显微镜对样品的扫描成像质量.提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案.该系统采用PC上位机发送指令,下位单片机控制扫描工作台的移动,光栅作为检测元件输出脉冲信号.单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行误差补偿.步进电机的硬件细分驱动,实现了步距2细分、4细分、8细分.实验结果表明该系统的重复定位精度达到0.005mm,满足扫描显微镜对扫描控制系统的要求.
高精度掃描控製繫統是現代掃描顯微繫統的重要組成部分,它影響著掃描顯微鏡對樣品的掃描成像質量.提齣瞭一種基于光柵檢測的單片機閉環掃描控製繫統的設計方案.該繫統採用PC上位機髮送指令,下位單片機控製掃描工作檯的移動,光柵作為檢測元件輸齣脈遲信號.單片機控製電路實現脈遲的計數併計算誤差值,控製步進電機進行誤差補償.步進電機的硬件細分驅動,實現瞭步距2細分、4細分、8細分.實驗結果錶明該繫統的重複定位精度達到0.005mm,滿足掃描顯微鏡對掃描控製繫統的要求.
고정도소묘공제계통시현대소묘현미계통적중요조성부분,타영향착소묘현미경대양품적소묘성상질량.제출료일충기우광책검측적단편궤폐배소묘공제계통적설계방안.해계통채용PC상위궤발송지령,하위단편궤공제소묘공작태적이동,광책작위검측원건수출맥충신호.단편궤공제전로실현맥충적계수병계산오차치,공제보진전궤진행오차보상.보진전궤적경건세분구동,실현료보거2세분、4세분、8세분.실험결과표명해계통적중복정위정도체도0.005mm,만족소묘현미경대소묘공제계통적요구.
