材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
z1期
420-422
,共3页
非平衡磁控溅射%钛掺杂%复合靶%正交实验
非平衡磁控濺射%鈦摻雜%複閤靶%正交實驗
비평형자공천사%태참잡%복합파%정교실험
利用非平衡磁控溅射技术溅射复合靶制备了一系列掺杂金属元素钛的类金刚石膜,并对薄膜的机械性能、沉积速率、电学性能及化学性能进行了测试,主要分析了影响机械性能、沉积速率的主要参数并确定了最佳工艺参数,同时阐述了其电学性能及化学性能结果.
利用非平衡磁控濺射技術濺射複閤靶製備瞭一繫列摻雜金屬元素鈦的類金剛石膜,併對薄膜的機械性能、沉積速率、電學性能及化學性能進行瞭測試,主要分析瞭影響機械性能、沉積速率的主要參數併確定瞭最佳工藝參數,同時闡述瞭其電學性能及化學性能結果.
이용비평형자공천사기술천사복합파제비료일계렬참잡금속원소태적류금강석막,병대박막적궤계성능、침적속솔、전학성능급화학성능진행료측시,주요분석료영향궤계성능、침적속솔적주요삼수병학정료최가공예삼수,동시천술료기전학성능급화학성능결과.
