PLD法制备氧化锌薄膜生长机制及发光特性的研究
PLD법제비양화자박막생장궤제급발광특성적연구
Growth Mechanisms and Photoluminescent Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition
  • 万方数据
    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2008年 z1期 69-71 ,共3页

    谢可可%仇旭升%孔明光%刘炳龙%汪壮兵%于永强%章伟%梁齐

    사가가%구욱승%공명광%류병룡%왕장병%우영강%장위%량제

    ZnO薄膜%PLD%XRD%PL谱 ZnO薄膜%PLD%XRD%PL譜
    ZnO박막%PLD%XRD%PL보
    利用PLD法在Si衬底上成功地制备了具有较好C轴择优取向生长的ZnO薄膜,从样品的XRD谱可以看出在环境氧压为20Pa,衬底温度为700℃时生长的样品的XPD谱(002)峰半高宽较窄,膜的结晶程度最好.不同的衬底温度下膜的生长机制也不一样,主要有:V-L-S机制和V-S机制.样品室温下的PL谱显示所有样品均出现UV发射和可见光区蓝绿光发射,而蓝绿光发射强度随氧压的增大而增强,表明样品的蓝绿光发射来源于样品中的受主缺陷.
    이용PLD법재Si츤저상성공지제비료구유교호C축택우취향생장적ZnO박막,종양품적XRD보가이간출재배경양압위20Pa,츤저온도위700℃시생장적양품적XPD보(002)봉반고관교착,막적결정정도최호.불동적츤저온도하막적생장궤제야불일양,주요유:V-L-S궤제화V-S궤제.양품실온하적PL보현시소유양품균출현UV발사화가견광구람록광발사,이람록광발사강도수양압적증대이증강,표명양품적람록광발사래원우양품중적수주결함.
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