金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2008年
1期
125-128
,共4页
赵升升%华伟刚%杜昊%宫骏%孙超%李家宝
趙升升%華偉剛%杜昊%宮駿%孫超%李傢寶
조승승%화위강%두호%궁준%손초%리가보
硬质薄膜%残余应力%测量方法%剥层曲率半径法
硬質薄膜%殘餘應力%測量方法%剝層麯率半徑法
경질박막%잔여응력%측량방법%박층곡솔반경법
提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法--剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜洋品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力.通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜残余应力的测定,证明了该方法的有效性.
提齣瞭一種測量硬質薄膜殘餘應力的新方法--剝層麯率半徑法,併設計瞭一套光槓桿繫統,可以精確測量鍍膜洋品因薄膜存在殘餘應力而造成試片彎麯的麯率半徑,從而計算齣薄膜的殘餘應力.通過對儀器測量誤差的攷察和電弧離子鍍(Ti,Al)N薄膜殘餘應力的測定,證明瞭該方法的有效性.
제출료일충측량경질박막잔여응력적신방법--박층곡솔반경법,병설계료일투광강간계통,가이정학측량도막양품인박막존재잔여응력이조성시편만곡적곡솔반경,종이계산출박막적잔여응력.통과대의기측량오차적고찰화전호리자도(Ti,Al)N박막잔여응력적측정,증명료해방법적유효성.
