润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2007年
11期
82-85
,共4页
雷红%卢海参%严琼林%褚风灵%丘海能
雷紅%盧海參%嚴瓊林%褚風靈%丘海能
뢰홍%로해삼%엄경림%저풍령%구해능
化学机械抛光(CMP)%氧化铝复合磨粒%玻璃基片
化學機械拋光(CMP)%氧化鋁複閤磨粒%玻璃基片
화학궤계포광(CMP)%양화려복합마립%파리기편
为提高氧化铝磨料分散稳定性,利用接枝聚合对氧化铝粒子进行了表面改性,并研究了改性后氧化铝粒子在数字光盘玻璃基片中的化学机械抛光特性.结果表明,氧化铝复合磨粒的抛光性能与其表面接枝率密切相关.接枝率上升,材料去除速率下降;试验条件下,当接枝率为2.93%时,氧化铝磨粒体现出较高的表面平整性、较低的表面粗糙度及较低的表面损伤.
為提高氧化鋁磨料分散穩定性,利用接枝聚閤對氧化鋁粒子進行瞭錶麵改性,併研究瞭改性後氧化鋁粒子在數字光盤玻璃基片中的化學機械拋光特性.結果錶明,氧化鋁複閤磨粒的拋光性能與其錶麵接枝率密切相關.接枝率上升,材料去除速率下降;試驗條件下,噹接枝率為2.93%時,氧化鋁磨粒體現齣較高的錶麵平整性、較低的錶麵粗糙度及較低的錶麵損傷.
위제고양화려마료분산은정성,이용접지취합대양화려입자진행료표면개성,병연구료개성후양화려입자재수자광반파리기편중적화학궤계포광특성.결과표명,양화려복합마립적포광성능여기표면접지솔밀절상관.접지솔상승,재료거제속솔하강;시험조건하,당접지솔위2.93%시,양화려마립체현출교고적표면평정성、교저적표면조조도급교저적표면손상.
