传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
8期
6-8
,共3页
微电子机械系统%传感器%标准%半导体
微電子機械繫統%傳感器%標準%半導體
미전자궤계계통%전감기%표준%반도체
随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化.论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议.
隨著MEMS傳感器在各箇領域的廣汎應用,傳感器領域的標準化工作思路和技術路線髮生瞭變化.論述瞭目前國內外MEMS傳感器標準的現狀,併就國內外MEMS傳感器標準體繫的髮展過程、特點、標準體繫存在的問題、與現有半導體標準的關繫進行瞭分析探討,同時,對我國MEMS傳感器標準的髮展對策提齣瞭建議.
수착MEMS전감기재각개영역적엄범응용,전감기영역적표준화공작사로화기술로선발생료변화.논술료목전국내외MEMS전감기표준적현상,병취국내외MEMS전감기표준체계적발전과정、특점、표준체계존재적문제、여현유반도체표준적관계진행료분석탐토,동시,대아국MEMS전감기표준적발전대책제출료건의.
