高等学校化学学报
高等學校化學學報
고등학교화학학보
CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES
2007年
11期
2102-2105
,共4页
徐娓%王欣%贾辉%郑伟涛%龙北红
徐娓%王訢%賈輝%鄭偉濤%龍北紅
서미%왕흔%가휘%정위도%룡북홍
非晶氮化铁薄膜%动力学标度方法%热重新发射模型
非晶氮化鐵薄膜%動力學標度方法%熱重新髮射模型
비정담화철박막%동역학표도방법%열중신발사모형
采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数 1/z=0.54±0.07. 薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型.
採用動力學標度方法研究瞭磁控濺射沉積的非晶氮化鐵薄膜的動力學生長機製,結果錶明,具有連續類柱狀島形貌的非晶氮化鐵薄膜具有標度不變的自倣射分形特點,其粗糙度指數α=0.82±0.21,生長指數β=0.44±0.07,動力學標度指數 1/z=0.54±0.07. 薄膜生長符閤提齣的熱重新髮射生長模型.
채용동역학표도방법연구료자공천사침적적비정담화철박막적동역학생장궤제,결과표명,구유련속류주상도형모적비정담화철박막구유표도불변적자방사분형특점,기조조도지수α=0.82±0.21,생장지수β=0.44±0.07,동역학표도지수 1/z=0.54±0.07. 박막생장부합제출적열중신발사생장모형.
