中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2007年
21期
2539-2542
,共4页
郭占社%姜春福%张欲晓%郑德智
郭佔社%薑春福%張欲曉%鄭德智
곽점사%강춘복%장욕효%정덕지
片上微摩擦测试机构%体硅工艺%键合技术%动态摩擦因数%静态摩擦因数
片上微摩抆測試機構%體硅工藝%鍵閤技術%動態摩抆因數%靜態摩抆因數
편상미마찰측시궤구%체규공예%건합기술%동태마찰인수%정태마찰인수
为有效模拟基于单晶硅材料的微机电器件摩擦副的摩擦磨损状况,设计了一种分离式片上微摩擦测试机构.该测试机构利用微机电系统体硅工艺及键合技术,把加载机构、测试机构、摩擦副以及力传感器集成在一个单一的硅片上.对该机构的测试结果表明:摩擦副之间的静摩擦因数约为0.9,动态摩擦因数随着施加在摩擦副上正压力的变化而变化.
為有效模擬基于單晶硅材料的微機電器件摩抆副的摩抆磨損狀況,設計瞭一種分離式片上微摩抆測試機構.該測試機構利用微機電繫統體硅工藝及鍵閤技術,把加載機構、測試機構、摩抆副以及力傳感器集成在一箇單一的硅片上.對該機構的測試結果錶明:摩抆副之間的靜摩抆因數約為0.9,動態摩抆因數隨著施加在摩抆副上正壓力的變化而變化.
위유효모의기우단정규재료적미궤전기건마찰부적마찰마손상황,설계료일충분리식편상미마찰측시궤구.해측시궤구이용미궤전계통체규공예급건합기술,파가재궤구、측시궤구、마찰부이급력전감기집성재일개단일적규편상.대해궤구적측시결과표명:마찰부지간적정마찰인수약위0.9,동태마찰인수수착시가재마찰부상정압력적변화이변화.
