强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
9期
1479-1482
,共4页
张素银%杜凯%邢丕峰%李朝阳%郑凤成%谢军
張素銀%杜凱%邢丕峰%李朝暘%鄭鳳成%謝軍
장소은%두개%형비봉%리조양%정봉성%사군
电解液%电解抛光%钛膜%表面粗糙度%表面形貌
電解液%電解拋光%鈦膜%錶麵粗糙度%錶麵形貌
전해액%전해포광%태막%표면조조도%표면형모
分析了硫酸、硝酸、氢氟酸;硫酸、乙酸、氢氟酸;乙醇、正丁醇、氯化锌、氯化铝;高氯酸、乙酸;硫酸、甲醇这5种不同电解液组成对钛薄膜表面粗糙度、表面形貌的影响,得出硫酸、甲醇混合溶液是一种较理想的电解液体系.设置合适的抛光电压、温度、时间、泵速等工艺参数,制备出了表面平整光滑,平均粗糙度小于30 nm的钛膜.分析了硫酸、甲醇电解液阳极电压与试样表面减薄速率的关系:试样的减薄速率开始随电压的升高而增大;当电压达到28～34 V时,减薄速率随电压变化很慢,当电压继续增大时,减薄速率又会迅速增大,金属膜继续溶解.
分析瞭硫痠、硝痠、氫氟痠;硫痠、乙痠、氫氟痠;乙醇、正丁醇、氯化鋅、氯化鋁;高氯痠、乙痠;硫痠、甲醇這5種不同電解液組成對鈦薄膜錶麵粗糙度、錶麵形貌的影響,得齣硫痠、甲醇混閤溶液是一種較理想的電解液體繫.設置閤適的拋光電壓、溫度、時間、泵速等工藝參數,製備齣瞭錶麵平整光滑,平均粗糙度小于30 nm的鈦膜.分析瞭硫痠、甲醇電解液暘極電壓與試樣錶麵減薄速率的關繫:試樣的減薄速率開始隨電壓的升高而增大;噹電壓達到28～34 V時,減薄速率隨電壓變化很慢,噹電壓繼續增大時,減薄速率又會迅速增大,金屬膜繼續溶解.
분석료류산、초산、경불산;류산、을산、경불산;을순、정정순、록화자、록화려;고록산、을산;류산、갑순저5충불동전해액조성대태박막표면조조도、표면형모적영향,득출류산、갑순혼합용액시일충교이상적전해액체계.설치합괄적포광전압、온도、시간、빙속등공예삼수,제비출료표면평정광활,평균조조도소우30 nm적태막.분석료류산、갑순전해액양겁전압여시양표면감박속솔적관계:시양적감박속솔개시수전압적승고이증대;당전압체도28～34 V시,감박속솔수전압변화흔만,당전압계속증대시,감박속솔우회신속증대,금속막계속용해.
