光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
9期
1328-1335
,共8页
吴冬良%戴一帆%王贵林%陈善勇
吳鼕良%戴一帆%王貴林%陳善勇
오동량%대일범%왕귀림%진선용
发射光学系统%面形误差%环围能量%位相误差%均方根梯度
髮射光學繫統%麵形誤差%環圍能量%位相誤差%均方根梯度
발사광학계통%면형오차%배위능량%위상오차%균방근제도
以发射光学系统为研究对象,假设面形误差为高斯平稳随机过程,建立了光学面形误差均方根梯度(GRMS)与远场靶面上环围能量比(EE)之间的数学关系模型,进行了仿真分析并对实际面形数据做了验证.研究表明,环围能量比随GRMS的增加呈指数衰减;同时面形误差低频和高频部分分别形成远场光强分布的中心核和边缘.在GRMS≤7nm/mm时,理论计算与仿真结果非常吻合.与实际分析结果的比较表明,该数学关系模型是正确的,能够用来分析GRMS对EE的影响.
以髮射光學繫統為研究對象,假設麵形誤差為高斯平穩隨機過程,建立瞭光學麵形誤差均方根梯度(GRMS)與遠場靶麵上環圍能量比(EE)之間的數學關繫模型,進行瞭倣真分析併對實際麵形數據做瞭驗證.研究錶明,環圍能量比隨GRMS的增加呈指數衰減;同時麵形誤差低頻和高頻部分分彆形成遠場光彊分佈的中心覈和邊緣.在GRMS≤7nm/mm時,理論計算與倣真結果非常吻閤.與實際分析結果的比較錶明,該數學關繫模型是正確的,能夠用來分析GRMS對EE的影響.
이발사광학계통위연구대상,가설면형오차위고사평은수궤과정,건립료광학면형오차균방근제도(GRMS)여원장파면상배위능량비(EE)지간적수학관계모형,진행료방진분석병대실제면형수거주료험증.연구표명,배위능량비수GRMS적증가정지수쇠감;동시면형오차저빈화고빈부분분별형성원장광강분포적중심핵화변연.재GRMS≤7nm/mm시,이론계산여방진결과비상문합.여실제분석결과적비교표명,해수학관계모형시정학적,능구용래분석GRMS대EE적영향.
