真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
4期
305-308
,共4页
汤文杰%陈强%付亚波%葛袁静
湯文傑%陳彊%付亞波%葛袁靜
탕문걸%진강%부아파%갈원정
中频%脉冲电源%DBD放电%羧基薄膜%占空比
中頻%脈遲電源%DBD放電%羧基薄膜%佔空比
중빈%맥충전원%DBD방전%최기박막%점공비
在40kHz脉冲介质阻挡放电(DBD)产生等离子体,以丙烯酸为单体,在2000Pa的高气压下,聚合带羧基的功能薄膜.采用接触角测试仪(WCA)、傅里叶红外光谱仪(FTIR)、X光电子能谱(XPS)研究了占空比对沉积薄膜化学结构、表面性能的影响.实验得到,中频脉冲DBD放电在高气压下制备的薄膜官能团含量较高;结果同时表明薄膜的性能受脉冲放电占空比的影响较大,占空比越小,薄膜的化学结构与单体更相近,官能团密度越多,但薄膜的稳定性较差.
在40kHz脈遲介質阻擋放電(DBD)產生等離子體,以丙烯痠為單體,在2000Pa的高氣壓下,聚閤帶羧基的功能薄膜.採用接觸角測試儀(WCA)、傅裏葉紅外光譜儀(FTIR)、X光電子能譜(XPS)研究瞭佔空比對沉積薄膜化學結構、錶麵性能的影響.實驗得到,中頻脈遲DBD放電在高氣壓下製備的薄膜官能糰含量較高;結果同時錶明薄膜的性能受脈遲放電佔空比的影響較大,佔空比越小,薄膜的化學結構與單體更相近,官能糰密度越多,但薄膜的穩定性較差.
재40kHz맥충개질조당방전(DBD)산생등리자체,이병희산위단체,재2000Pa적고기압하,취합대최기적공능박막.채용접촉각측시의(WCA)、부리협홍외광보의(FTIR)、X광전자능보(XPS)연구료점공비대침적박막화학결구、표면성능적영향.실험득도,중빈맥충DBD방전재고기압하제비적박막관능단함량교고;결과동시표명박막적성능수맥충방전점공비적영향교대,점공비월소,박막적화학결구여단체경상근,관능단밀도월다,단박막적은정성교차.
