稀土
稀土
희토
CHINESE RARE EARTHS
2007年
4期
38-42
,共5页
非晶态%稀土磁伸薄膜%曲率测量%薄膜应力
非晶態%稀土磁伸薄膜%麯率測量%薄膜應力
비정태%희토자신박막%곡솔측량%박막응력
利用基片曲率法原理,设计改装了一套基片曲率显微观测装置用于测量稀土超磁致伸缩合金非晶RGMF薄膜试样的曲率半径并计算薄膜应力;分析探讨了使用该装置测量计算曲率半径的随机误差与系统误差,并在此基础上进一步分析了薄膜应力的相对误差.利用该装置测量了采用离子束溅射沉积法在青铜基片上沉积TbDy-Fe非晶薄膜的应力大小为150MPa,为压应力,测量总误差在8%以内.
利用基片麯率法原理,設計改裝瞭一套基片麯率顯微觀測裝置用于測量稀土超磁緻伸縮閤金非晶RGMF薄膜試樣的麯率半徑併計算薄膜應力;分析探討瞭使用該裝置測量計算麯率半徑的隨機誤差與繫統誤差,併在此基礎上進一步分析瞭薄膜應力的相對誤差.利用該裝置測量瞭採用離子束濺射沉積法在青銅基片上沉積TbDy-Fe非晶薄膜的應力大小為150MPa,為壓應力,測量總誤差在8%以內.
이용기편곡솔법원리,설계개장료일투기편곡솔현미관측장치용우측량희토초자치신축합금비정RGMF박막시양적곡솔반경병계산박막응력;분석탐토료사용해장치측량계산곡솔반경적수궤오차여계통오차,병재차기출상진일보분석료박막응력적상대오차.이용해장치측량료채용리자속천사침적법재청동기편상침적TbDy-Fe비정박막적응력대소위150MPa,위압응력,측량총오차재8%이내.
