内蒙古师范大学学报（自然科学汉文版）
內矇古師範大學學報（自然科學漢文版）
내몽고사범대학학보（자연과학한문판）
JOURNAL OF INNER MONGOLIA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
4期
466-469
,共4页
直流反应磁控溅射%ZAO薄膜%厚度%光电性能
直流反應磁控濺射%ZAO薄膜%厚度%光電性能
직류반응자공천사%ZAO박막%후도%광전성능
采用直流反应磁控溅射法,用Al含量为2%的Zn/Al合金靶材,室温下在玻璃衬底上制备了ZAO透明导电薄膜样品.在其他参数不变的情况下,由不同溅射时间得到不同的薄膜厚度,研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO:Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,电阻率为5.1×10-4Ω·cm,平均透射率达到88%.
採用直流反應磁控濺射法,用Al含量為2%的Zn/Al閤金靶材,室溫下在玻璃襯底上製備瞭ZAO透明導電薄膜樣品.在其他參數不變的情況下,由不同濺射時間得到不同的薄膜厚度,研究瞭薄膜的結構性質、光學和電學性質隨薄膜厚度的變化關繫.製備的ZnO:Al薄膜具有(002)麵的單一擇優取嚮的多晶六角纖鋅礦結構,電阻率為5.1×10-4Ω·cm,平均透射率達到88%.
채용직류반응자공천사법,용Al함량위2%적Zn/Al합금파재,실온하재파리츤저상제비료ZAO투명도전박막양품.재기타삼수불변적정황하,유불동천사시간득도불동적박막후도,연구료박막적결구성질、광학화전학성질수박막후도적변화관계.제비적ZnO:Al박막구유(002)면적단일택우취향적다정륙각섬자광결구,전조솔위5.1×10-4Ω·cm,평균투사솔체도88%.
