仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2006年
z1期
1023-1025
,共3页
张东华%陈维山%刘军芳%陈在礼
張東華%陳維山%劉軍芳%陳在禮
장동화%진유산%류군방%진재례
微机电系统%微驱动器%压电陶瓷%压电驱动器
微機電繫統%微驅動器%壓電陶瓷%壓電驅動器
미궤전계통%미구동기%압전도자%압전구동기
微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.
微驅動器是微機電繫統運行的關鍵,壓電驅動器作為新的驅動元件在這一領域迅速髮展起來.它具有很高的位移分辨率以及抗榦擾能力,併且控製方法簡單.本文介紹瞭微機電繫統、壓電驅動器的概唸,併對國外微機電繫統中壓電驅動器的髮展及應用情況進行瞭詳細、全麵的介紹,同時指齣瞭壓電驅動器研究領域需深入探討的關鍵技術.
미구동기시미궤전계통운행적관건,압전구동기작위신적구동원건재저일영역신속발전기래.타구유흔고적위이분변솔이급항간우능력,병차공제방법간단.본문개소료미궤전계통、압전구동기적개념,병대국외미궤전계통중압전구동기적발전급응용정황진행료상세、전면적개소,동시지출료압전구동기연구영역수심입탐토적관건기술.
