计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2006年
z1期
9-12
,共4页
江国顺%李惠%张明明%王东生
江國順%李惠%張明明%王東生
강국순%리혜%장명명%왕동생
ZnO%掺杂%气敏%电导%Sb2O3
ZnO%摻雜%氣敏%電導%Sb2O3
ZnO%참잡%기민%전도%Sb2O3
用共沉淀的方法,制备了纤锌矿结构的ZnO及其掺Sb的ZnO纳米粉.X射线衍射(XRD)分析表明,当锑掺量小于5wt%时没有新相生成.纯ZnO和掺Sb的ZnO器件的气敏和电阻测试结果发现:不同的厚膜烧结工艺对气体的敏感性影响较大,并且掺Sb后ZnO的气敏性能有所提高,电导峰消失.从缺陷角度、XPS分析的结果进行了讨论,初步解释了锑的掺入导致电导变化和气敏性能提高的原因.
用共沉澱的方法,製備瞭纖鋅礦結構的ZnO及其摻Sb的ZnO納米粉.X射線衍射(XRD)分析錶明,噹銻摻量小于5wt%時沒有新相生成.純ZnO和摻Sb的ZnO器件的氣敏和電阻測試結果髮現:不同的厚膜燒結工藝對氣體的敏感性影響較大,併且摻Sb後ZnO的氣敏性能有所提高,電導峰消失.從缺陷角度、XPS分析的結果進行瞭討論,初步解釋瞭銻的摻入導緻電導變化和氣敏性能提高的原因.
용공침정적방법,제비료섬자광결구적ZnO급기참Sb적ZnO납미분.X사선연사(XRD)분석표명,당제참량소우5wt%시몰유신상생성.순ZnO화참Sb적ZnO기건적기민화전조측시결과발현:불동적후막소결공예대기체적민감성영향교대,병차참Sb후ZnO적기민성능유소제고,전도봉소실.종결함각도、XPS분석적결과진행료토론,초보해석료제적참입도치전도변화화기민성능제고적원인.
