机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2006年
4期
196-200
,共5页
宋亦旭%王健发%杨开明%尹文生%朱煜%贾培发
宋亦旭%王健髮%楊開明%尹文生%硃煜%賈培髮
송역욱%왕건발%양개명%윤문생%주욱%가배발
叠层台%粗精控制%轨迹跟踪
疊層檯%粗精控製%軌跡跟蹤
첩층태%조정공제%궤적근종
在分析粗精动控制系统的耦合及轨迹分配等问题的基础上,介绍叠层试验台高速高精度直线运动的实现:采用永磁直线交流电动机驱动粗动台,粗动台行程大但带宽较低;音圈电动机驱动精动台,精动台带宽高但行程较小.用绝对空间闭环方式实现试验台的粗精运动控制,这种方法可以忽略粗动台对精动台的惯性力扰动,精动台直接跟踪给定轨迹,粗动台跟踪精动台的运动轨迹防止精动台发生运动饱和.试验结果表明,精动台显著提高了系统的定位和跟踪精度,该控制方法使叠层试验台的高速高精度运动得以方便实现.
在分析粗精動控製繫統的耦閤及軌跡分配等問題的基礎上,介紹疊層試驗檯高速高精度直線運動的實現:採用永磁直線交流電動機驅動粗動檯,粗動檯行程大但帶寬較低;音圈電動機驅動精動檯,精動檯帶寬高但行程較小.用絕對空間閉環方式實現試驗檯的粗精運動控製,這種方法可以忽略粗動檯對精動檯的慣性力擾動,精動檯直接跟蹤給定軌跡,粗動檯跟蹤精動檯的運動軌跡防止精動檯髮生運動飽和.試驗結果錶明,精動檯顯著提高瞭繫統的定位和跟蹤精度,該控製方法使疊層試驗檯的高速高精度運動得以方便實現.
재분석조정동공제계통적우합급궤적분배등문제적기출상,개소첩층시험태고속고정도직선운동적실현:채용영자직선교류전동궤구동조동태,조동태행정대단대관교저;음권전동궤구동정동태,정동태대관고단행정교소.용절대공간폐배방식실현시험태적조정운동공제,저충방법가이홀략조동태대정동태적관성력우동,정동태직접근종급정궤적,조동태근종정동태적운동궤적방지정동태발생운동포화.시험결과표명,정동태현저제고료계통적정위화근종정도,해공제방법사첩층시험태적고속고정도운동득이방편실현.
