真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
4期
286-289
,共4页
方明%郑伟军%吴明%范瑞瑛%易葵%范正修
方明%鄭偉軍%吳明%範瑞瑛%易葵%範正脩
방명%정위군%오명%범서영%역규%범정수
光学薄膜%平面行星夹具%修正挡板设计%停留概率修正法
光學薄膜%平麵行星夾具%脩正擋闆設計%停留概率脩正法
광학박막%평면행성협구%수정당판설계%정류개솔수정법
众多光学系统差要求越来越严格.在整个基底表面,每一层都需要沉积得相当均匀.因为,任何单层的非均匀性将增加最终的膜厚误差.随着平面行星夹具广泛地应用于大尺寸光学薄膜制备,必须实现对行星夹具的均匀性有效控制.本文建立了平面行星夹具薄膜沉积无量纲模型,通过对夹具上各点的运动轨迹分析,提出了停留概率修正法,获得的理论均匀性与实验结果吻合.用此法设计出单片修正挡板将夹具φ560 mm范围内的不均匀性从4%改进到6%.
衆多光學繫統差要求越來越嚴格.在整箇基底錶麵,每一層都需要沉積得相噹均勻.因為,任何單層的非均勻性將增加最終的膜厚誤差.隨著平麵行星夾具廣汎地應用于大呎吋光學薄膜製備,必鬚實現對行星夾具的均勻性有效控製.本文建立瞭平麵行星夾具薄膜沉積無量綱模型,通過對夾具上各點的運動軌跡分析,提齣瞭停留概率脩正法,穫得的理論均勻性與實驗結果吻閤.用此法設計齣單片脩正擋闆將夾具φ560 mm範圍內的不均勻性從4%改進到6%.
음다광학계통차요구월래월엄격.재정개기저표면,매일층도수요침적득상당균균.인위,임하단층적비균균성장증가최종적막후오차.수착평면행성협구엄범지응용우대척촌광학박막제비,필수실현대행성협구적균균성유효공제.본문건립료평면행성협구박막침적무량강모형,통과대협구상각점적운동궤적분석,제출료정류개솔수정법,획득적이론균균성여실험결과문합.용차법설계출단편수정당판장협구φ560 mm범위내적불균균성종4%개진도6%.
