核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2006年
3期
161-164
,共4页
张耀锋%王勇%尉伟%王建平%范乐%蒋道满
張耀鋒%王勇%尉偉%王建平%範樂%蔣道滿
장요봉%왕용%위위%왕건평%범악%장도만
TiN薄膜%直流溅射%放气率
TiN薄膜%直流濺射%放氣率
TiN박막%직류천사%방기솔
介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺,并分析了薄膜的相关参数,测试了镀膜管道的真空性能.结果表明,该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜,且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率.
介紹瞭對不鏽鋼管道大麵積內壁用直流濺射方法鍍TiN薄膜的技術及工藝,併分析瞭薄膜的相關參數,測試瞭鍍膜管道的真空性能.結果錶明,該方法能夠快速、高效地在管道內壁鍍上高質量的TiN薄膜,且鍍膜後真空室錶麵的放氣率明顯低于原不鏽鋼材料的放氣率.
개소료대불수강관도대면적내벽용직류천사방법도TiN박막적기술급공예,병분석료박막적상관삼수,측시료도막관도적진공성능.결과표명,해방법능구쾌속、고효지재관도내벽도상고질량적TiN박막,차도막후진공실표면적방기솔명현저우원불수강재료적방기솔.
