仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2005年
z1期
263-264
,共2页
李会雨%李玉和%李庆祥%廖小华%葛杨翔
李會雨%李玉和%李慶祥%廖小華%葛楊翔
리회우%리옥화%리경상%료소화%갈양상
相移干涉%超光滑表面%粗糙度
相移榦涉%超光滑錶麵%粗糙度
상이간섭%초광활표면%조조도
超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高.采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光滑表面粗糙度检测性能要求.
超精加工技術的不斷髮展,對光滑錶麵粗糙度檢測精度要求越來越高.採用顯微相移榦涉技術,設計軟件算法實現超光滑錶麵任意橫嚮或縱嚮截麵線粗糙度以及麵粗糙度在線檢測與三維動態顯示,初步實驗錶明,該繫統測量精度達納米量級,滿足超光滑錶麵粗糙度檢測性能要求.
초정가공기술적불단발전,대광활표면조조도검측정도요구월래월고.채용현미상이간섭기술,설계연건산법실현초광활표면임의횡향혹종향절면선조조도이급면조조도재선검측여삼유동태현시,초보실험표명,해계통측량정도체납미량급,만족초광활표면조조도검측성능요구.
