光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2006年
1期
166-169
,共4页
冯绍彬%商士波%冯丽婷%刘清%张经纬%李宗慧
馮紹彬%商士波%馮麗婷%劉清%張經緯%李宗慧
풍소빈%상사파%풍려정%류청%장경위%리종혜
XPS%深度刻蚀%缓蚀膜%铜/铁界面%氧分布
XPS%深度刻蝕%緩蝕膜%銅/鐵界麵%氧分佈
XPS%심도각식%완식막%동/철계면%양분포
为了探索焦磷酸盐镀铜层与铁基体结合强度差的原因,采用波谱技术,分析了纵向界面各种元素的成分变化,讨论了金属基体表面粗糙度对元素分布的影响.根据刻蚀时间可将膜层分为三部分:N,O量迅速减少的表面层,有基本固定组成的中间层和占一半厚度的出现基体元素的混合干扰层.通过对后期混合层中氧含量的分析,可得出镀铜层/铁基体界面含氧层的存在是影响电镀层与基体结合强度的主要原因的结论.
為瞭探索焦燐痠鹽鍍銅層與鐵基體結閤彊度差的原因,採用波譜技術,分析瞭縱嚮界麵各種元素的成分變化,討論瞭金屬基體錶麵粗糙度對元素分佈的影響.根據刻蝕時間可將膜層分為三部分:N,O量迅速減少的錶麵層,有基本固定組成的中間層和佔一半厚度的齣現基體元素的混閤榦擾層.通過對後期混閤層中氧含量的分析,可得齣鍍銅層/鐵基體界麵含氧層的存在是影響電鍍層與基體結閤彊度的主要原因的結論.
위료탐색초린산염도동층여철기체결합강도차적원인,채용파보기술,분석료종향계면각충원소적성분변화,토론료금속기체표면조조도대원소분포적영향.근거각식시간가장막층분위삼부분:N,O량신속감소적표면층,유기본고정조성적중간층화점일반후도적출현기체원소적혼합간우층.통과대후기혼합층중양함량적분석,가득출도동층/철기체계면함양층적존재시영향전도층여기체결합강도적주요원인적결론.
