材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2005年
6期
123-125
,共3页
黄佳木%吕佳%张新元%覃丽禄
黃佳木%呂佳%張新元%覃麗祿
황가목%려가%장신원%담려록
TaOx%非晶态薄膜%离子导体%磁控溅射
TaOx%非晶態薄膜%離子導體%磁控濺射
TaOx%비정태박막%리자도체%자공천사
采用射频反应磁控溅射工艺,以纯钽为靶材,在WO3/ITO/Glass基材上制备TaOx薄膜,研究氧含量、溅射功率等制备工艺参数对TaOx薄膜性能的影响.用三位电极法和透射光谱等方法检测薄膜的离子导电性能,结果表明:所得的TaOx薄膜主要为非晶态,在一定范围内,在较低的溅射功率和较低的氧含量实验条件下制备的TaOx薄膜具有较好的离子导电性能.
採用射頻反應磁控濺射工藝,以純鐽為靶材,在WO3/ITO/Glass基材上製備TaOx薄膜,研究氧含量、濺射功率等製備工藝參數對TaOx薄膜性能的影響.用三位電極法和透射光譜等方法檢測薄膜的離子導電性能,結果錶明:所得的TaOx薄膜主要為非晶態,在一定範圍內,在較低的濺射功率和較低的氧含量實驗條件下製備的TaOx薄膜具有較好的離子導電性能.
채용사빈반응자공천사공예,이순단위파재,재WO3/ITO/Glass기재상제비TaOx박막,연구양함량、천사공솔등제비공예삼수대TaOx박막성능적영향.용삼위전겁법화투사광보등방법검측박막적리자도전성능,결과표명:소득적TaOx박막주요위비정태,재일정범위내,재교저적천사공솔화교저적양함량실험조건하제비적TaOx박막구유교호적리자도전성능.
