微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
84-86
,共3页
顾洪明%吕苗%单福琪%高葆新%梁春广
顧洪明%呂苗%單福琪%高葆新%樑春廣
고홍명%려묘%단복기%고보신%량춘엄
MEMS开关%耦合模型%全波分析法
MEMS開關%耦閤模型%全波分析法
MEMS개관%우합모형%전파분석법
提出了一种串联MEMS开关的电磁耦合模型,并且应用该模型,对采用表面硅工艺和体硅工艺制作的MEMS开关,采用全波分析方法,进行了瞬态电磁场分析.由于开关尺寸为微米量级,而驱动电压高达40～60V,这样的瞬态高压有可能对开关上的信号产生影响.理论仿真结果显示,开关驱动路对信号路有很强的耦合场存在.实验结果同样显示,耦合到信号路的信号可以输入信号产生最大值为60%的失真.
提齣瞭一種串聯MEMS開關的電磁耦閤模型,併且應用該模型,對採用錶麵硅工藝和體硅工藝製作的MEMS開關,採用全波分析方法,進行瞭瞬態電磁場分析.由于開關呎吋為微米量級,而驅動電壓高達40～60V,這樣的瞬態高壓有可能對開關上的信號產生影響.理論倣真結果顯示,開關驅動路對信號路有很彊的耦閤場存在.實驗結果同樣顯示,耦閤到信號路的信號可以輸入信號產生最大值為60%的失真.
제출료일충천련MEMS개관적전자우합모형,병차응용해모형,대채용표면규공예화체규공예제작적MEMS개관,채용전파분석방법,진행료순태전자장분석.유우개관척촌위미미량급,이구동전압고체40～60V,저양적순태고압유가능대개관상적신호산생영향.이론방진결과현시,개관구동로대신호로유흔강적우합장존재.실험결과동양현시,우합도신호로적신호가이수입신호산생최대치위60%적실진.
