电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2003年
6期
624-627
,共4页
曾葆青%田时开%殷吉昊%杨中海
曾葆青%田時開%慇吉昊%楊中海
증보청%전시개%은길호%양중해
碳纳米管%场发射%场发射平面显示器%阴极
碳納米管%場髮射%場髮射平麵顯示器%陰極
탄납미관%장발사%장발사평면현시기%음겁
碳纳米管薄膜是一种能应用于场发射平面显示器等器件中的新型冷阴极材料.该文用Ni作为催化剂,采用催化热解法在硅片上制备了多壁碳纳米管薄膜场发射阴极,反应气体为乙炔、氢气和氮气.用SEM和TEM分析了其结构,证明了碳纳米管的直径在50～70 nm间.进而采用二极管结构,在优于10-4Pa的真空度下,测试了它的场发射特性,理论分析表明碳纳米管薄膜的场发射实际上来源于突出于薄膜表面的部分碳纳米管顶端.该阴极的开启电场为8 V/μm;在11 V/μm时测试到了最大的发射电流密度2 mA/cm2,满足场发射平面显示器的要求.
碳納米管薄膜是一種能應用于場髮射平麵顯示器等器件中的新型冷陰極材料.該文用Ni作為催化劑,採用催化熱解法在硅片上製備瞭多壁碳納米管薄膜場髮射陰極,反應氣體為乙炔、氫氣和氮氣.用SEM和TEM分析瞭其結構,證明瞭碳納米管的直徑在50～70 nm間.進而採用二極管結構,在優于10-4Pa的真空度下,測試瞭它的場髮射特性,理論分析錶明碳納米管薄膜的場髮射實際上來源于突齣于薄膜錶麵的部分碳納米管頂耑.該陰極的開啟電場為8 V/μm;在11 V/μm時測試到瞭最大的髮射電流密度2 mA/cm2,滿足場髮射平麵顯示器的要求.
탄납미관박막시일충능응용우장발사평면현시기등기건중적신형랭음겁재료.해문용Ni작위최화제,채용최화열해법재규편상제비료다벽탄납미관박막장발사음겁,반응기체위을결、경기화담기.용SEM화TEM분석료기결구,증명료탄납미관적직경재50～70 nm간.진이채용이겁관결구,재우우10-4Pa적진공도하,측시료타적장발사특성,이론분석표명탄납미관박막적장발사실제상래원우돌출우박막표면적부분탄납미관정단.해음겁적개계전장위8 V/μm;재11 V/μm시측시도료최대적발사전류밀도2 mA/cm2,만족장발사평면현시기적요구.
