功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2000年
2期
142-143,152
,共3页
李跃进%杨银堂%贾护军%朱作云%柴常春
李躍進%楊銀堂%賈護軍%硃作雲%柴常春
리약진%양은당%가호군%주작운%시상춘
多晶碳化硅%热氧化%温度%二氧化硅
多晶碳化硅%熱氧化%溫度%二氧化硅
다정탄화규%열양화%온도%이양화규
本文研究了1050～1250℃温度下干氧和湿氧中多晶sic/si材料的氧化规律,讨论了氧化层厚度与时间、温度、气氛的关系,用Auger电子能谱仪对薄膜成分进行了分析.
本文研究瞭1050～1250℃溫度下榦氧和濕氧中多晶sic/si材料的氧化規律,討論瞭氧化層厚度與時間、溫度、氣氛的關繫,用Auger電子能譜儀對薄膜成分進行瞭分析.
본문연구료1050～1250℃온도하간양화습양중다정sic/si재료적양화규률,토론료양화층후도여시간、온도、기분적관계,용Auger전자능보의대박막성분진행료분석.
