无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
1999年
1期
119-126
,共8页
包定华%吴小清%张良莹%姚熹
包定華%吳小清%張良瑩%姚熹
포정화%오소청%장량형%요희
锆钛酸铅薄膜%结构相变%成分分析
鋯鈦痠鉛薄膜%結構相變%成分分析
고태산연박막%결구상변%성분분석
采用MOD工艺制备了PZT薄膜, 利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程. 制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜, 其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相; 与之相比, Pt箔上无支持的PZT薄膜, 其TEM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高, 且与薄膜的厚度有关. XPS研究表明, 薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳, 无其它杂质存在. 表面富含少量Pb, 其Zr/Ti比与化学计量比一致, 但晶格中缺氧.
採用MOD工藝製備瞭PZT薄膜, 利用XRD和TEM研究瞭焦綠石相嚮鈣鈦礦相的轉變過程. 製備在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上的PZT薄膜, 其XRD分析顯示焦綠石相在600℃完全轉變為鈣鈦礦相; 與之相比, Pt箔上無支持的PZT薄膜, 其TEM分析錶明PZT焦綠石相完全轉變為鈣鈦礦相的溫度更高, 且與薄膜的厚度有關. XPS研究錶明, 薄膜錶麵含有化學吸附氧和汙染碳, 無其它雜質存在. 錶麵富含少量Pb, 其Zr/Ti比與化學計量比一緻, 但晶格中缺氧.
채용MOD공예제비료PZT박막, 이용XRD화TEM연구료초록석상향개태광상적전변과정. 제비재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상적PZT박막, 기XRD분석현시초록석상재600℃완전전변위개태광상; 여지상비, Pt박상무지지적PZT박막, 기TEM분석표명PZT초록석상완전전변위개태광상적온도경고, 차여박막적후도유관. XPS연구표명, 박막표면함유화학흡부양화오염탄, 무기타잡질존재. 표면부함소량Pb, 기Zr/Ti비여화학계량비일치, 단정격중결양.
