电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
1999年
6期
110-114
,共5页
董桂芳%张克潜%汪健如%应根裕
董桂芳%張剋潛%汪健如%應根裕
동계방%장극잠%왕건여%응근유
聚焦离子束%液态金属离子源%微细加工%半导体集成%光电集%微米/纳米技术吵
聚焦離子束%液態金屬離子源%微細加工%半導體集成%光電集%微米/納米技術吵
취초리자속%액태금속리자원%미세가공%반도체집성%광전집%미미/납미기술묘
随着微米/纳米科学技术的发展,微细加工微区分析所用的主要技术之一--聚焦离子束技术引人注目.本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能,着重报道了近年来该技术在下述领域中的应用:(1)半导体大规模集成电路器件的集成、失误诊断和修复.(2)光电子集成技术中量子阱激光器和光纤相位掩模的制备及量子效应研究.(3)超导器件和真空微电子器件的研制.(4)二次离子质谱分析和透射电子显微镜样品的制备.
隨著微米/納米科學技術的髮展,微細加工微區分析所用的主要技術之一--聚焦離子束技術引人註目.本文簡述瞭具有液態金屬離子源的聚焦離子束技術的主要功能,著重報道瞭近年來該技術在下述領域中的應用:(1)半導體大規模集成電路器件的集成、失誤診斷和脩複.(2)光電子集成技術中量子阱激光器和光纖相位掩模的製備及量子效應研究.(3)超導器件和真空微電子器件的研製.(4)二次離子質譜分析和透射電子顯微鏡樣品的製備.
수착미미/납미과학기술적발전,미세가공미구분석소용적주요기술지일--취초리자속기술인인주목.본문간술료구유액태금속리자원적취초리자속기술적주요공능,착중보도료근년래해기술재하술영역중적응용:(1)반도체대규모집성전로기건적집성、실오진단화수복.(2)광전자집성기술중양자정격광기화광섬상위엄모적제비급양자효응연구.(3)초도기건화진공미전자기건적연제.(4)이차리자질보분석화투사전자현미경양품적제비.
