无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2002年
6期
1263-1268
,共6页
黄银松%章俞之%宋力昕%胡行方
黃銀鬆%章俞之%宋力昕%鬍行方
황은송%장유지%송력흔%호행방
直流反应溅射%多晶氧化钨薄膜%Raman散射%红外反射%发射率
直流反應濺射%多晶氧化鎢薄膜%Raman散射%紅外反射%髮射率
직류반응천사%다정양화오박막%Raman산사%홍외반사%발사솔
通过工艺参数的优化,采用直流反应溅射工艺成功地制备了具有良好的电化学循环稳定性的多晶氧化钨薄膜.Raman散射光谱研究表明:随着锂离子和电子的共同注入,多晶薄膜中的W6+逐渐被还原为W5+.红外反射测试表明:电子注入薄膜后,成为自由载流子,使得氧化钨薄膜表现出一定的金属特性,具有一定的红外反射调制能力.采用该工艺制备的WO3/ITO/Glass结构的发射率可在0.261～0.589的范围内可逆调节.
通過工藝參數的優化,採用直流反應濺射工藝成功地製備瞭具有良好的電化學循環穩定性的多晶氧化鎢薄膜.Raman散射光譜研究錶明:隨著鋰離子和電子的共同註入,多晶薄膜中的W6+逐漸被還原為W5+.紅外反射測試錶明:電子註入薄膜後,成為自由載流子,使得氧化鎢薄膜錶現齣一定的金屬特性,具有一定的紅外反射調製能力.採用該工藝製備的WO3/ITO/Glass結構的髮射率可在0.261～0.589的範圍內可逆調節.
통과공예삼수적우화,채용직류반응천사공예성공지제비료구유량호적전화학순배은정성적다정양화오박막.Raman산사광보연구표명:수착리리자화전자적공동주입,다정박막중적W6+축점피환원위W5+.홍외반사측시표명:전자주입박막후,성위자유재류자,사득양화오박막표현출일정적금속특성,구유일정적홍외반사조제능력.채용해공예제비적WO3/ITO/Glass결구적발사솔가재0.261～0.589적범위내가역조절.
