上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2002年
5期
694-697
,共4页
莘海维%凌行%奚正蕾%张志明%沈荷生%戴永兵
莘海維%凌行%奚正蕾%張誌明%瀋荷生%戴永兵
신해유%릉행%해정뢰%장지명%침하생%대영병
金刚石薄膜%复合结构%介电特性
金剛石薄膜%複閤結構%介電特性
금강석박막%복합결구%개전특성
利用热丝大面积金刚石薄膜气相合成(CVD)装置制备了复合金刚石薄膜,并对其表面和断面分别进行了扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱表征.研究了该复合结构的介电性能,利用共振电路测量了高频下薄膜的介质损耗与频率的关系.结果表明,复合结构由普通多晶金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜组成,薄膜的表层结构体现了纳米金刚石的特征.复合金刚石薄膜不仅具有表面光滑的优点,介电性能也接近于常规的多晶金刚石薄膜,是一种较好的电子材料,可应用于金刚石薄膜半导体器件的制备.
利用熱絲大麵積金剛石薄膜氣相閤成(CVD)裝置製備瞭複閤金剛石薄膜,併對其錶麵和斷麵分彆進行瞭掃描電鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)和Raman光譜錶徵.研究瞭該複閤結構的介電性能,利用共振電路測量瞭高頻下薄膜的介質損耗與頻率的關繫.結果錶明,複閤結構由普通多晶金剛石薄膜和納米金剛石薄膜組成,薄膜的錶層結構體現瞭納米金剛石的特徵.複閤金剛石薄膜不僅具有錶麵光滑的優點,介電性能也接近于常規的多晶金剛石薄膜,是一種較好的電子材料,可應用于金剛石薄膜半導體器件的製備.
이용열사대면적금강석박막기상합성(CVD)장치제비료복합금강석박막,병대기표면화단면분별진행료소묘전경(SEM)、원자력현미경(AFM)화Raman광보표정.연구료해복합결구적개전성능,이용공진전로측량료고빈하박막적개질손모여빈솔적관계.결과표명,복합결구유보통다정금강석박막화납미금강석박막조성,박막적표층결구체현료납미금강석적특정.복합금강석박막불부구유표면광활적우점,개전성능야접근우상규적다정금강석박막,시일충교호적전자재료,가응용우금강석박막반도체기건적제비.
