CAJ | 학술논문

采用光荧光和阴极荧光方法,对GaN外延层中的黄色和蓝色发光进行测量分析;同时,采用原子力显微镜、扫描电镜及其能谱测量外延层中的缺陷.结果表明,黄色和蓝色发光与残留杂质有关.采用第一原理计算结果显示,残留C、O杂质、本征缺陷等是黄色和蓝色的可能物理起源.采用原子力显微镜、扫描电镜、透射电镜及其能谱对GaN/AlGaN异质结中的纳米管进行观测,了解了纳米管的形貌.结果表明,构成纳米管的小面可能是外延过程中表面吸附引起的;计算结果显示,纳米管形貌变化与GaN/AlGaN界面处晶格失配应力有关.采用透射电镜观察外延层中沉积物及其周围位错的结构表明,沉积物附近应力的存在是位错产生的主要原因.
채용광형광화음겁형광방법,대GaN외연층중적황색화람색발광진행측량분석;동시,채용원자력현미경、소묘전경급기능보측량외연층중적결함.결과표명,황색화람색발광여잔류잡질유관.채용제일원리계산결과현시,잔류C、O잡질、본정결함등시황색화람색적가능물리기원.채용원자력현미경、소묘전경、투사전경급기능보대GaN/AlGaN이질결중적납미관진행관측,료해료납미관적형모.결과표명,구성납미관적소면가능시외연과정중표면흡부인기적;계산결과현시,납미관형모변화여GaN/AlGaN계면처정격실배응력유관.채용투사전경관찰외연층중침적물급기주위위착적결구표명,침적물부근응력적존재시위착산생적주요원인.