无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2002年
3期
571-578
,共8页
酒金婷%付强%汪浩%朱鹤孙
酒金婷%付彊%汪浩%硃鶴孫
주금정%부강%왕호%주학손
DLC薄膜%液相电沉积%碳源%反应机理
DLC薄膜%液相電沉積%碳源%反應機理
DLC박막%액상전침적%탄원%반응궤리
利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC),讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物.
利用液相電沉積技術製備瞭含氫類金剛石薄膜(DLC),討論瞭應用電位和沉積碳源對沉積過程和薄膜結構的影響;結果錶明有高介電常數、低粘度、分子中甲基基糰直接與極性基糰鍵閤的有機液體是閤適的沉積碳源;通過增加沉積電位將有利于薄膜中sp3碳的生長;最後,作者提齣瞭液相沉積類金剛石薄膜的反應機理-極化-反應機製,在電場的作用下,有機分子被極化併在電極錶麵反應生成DLC薄膜和其他產物.
이용액상전침적기술제비료함경류금강석박막(DLC),토론료응용전위화침적탄원대침적과정화박막결구적영향;결과표명유고개전상수、저점도、분자중갑기기단직접여겁성기단건합적유궤액체시합괄적침적탄원;통과증가침적전위장유리우박막중sp3탄적생장;최후,작자제출료액상침적류금강석박막적반응궤리-겁화-반응궤제,재전장적작용하,유궤분자피겁화병재전겁표면반응생성DLC박막화기타산물.
