无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2002年
2期
299-305
,共7页
邸利锋%丁爱丽%何夕云%罗维根
邸利鋒%丁愛麗%何夕雲%囉維根
저리봉%정애려%하석운%라유근
弛豫铁电体%溶胶-凝胶%热解%退火
弛豫鐵電體%溶膠-凝膠%熱解%退火
이예철전체%용효-응효%열해%퇴화
研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.
研究用溶膠-凝膠方法製備PMNT(鈮鎂痠鉛)薄膜的工藝過程.通過XRD和SPM繫統地分析瞭熱處理條件(熱解溫度和退火條件)與PMNT薄膜的形態.結晶和取嚮的對應關繫,已建立起製備高度取嚮PMNT薄膜的工藝.併成功地在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備成(111)取嚮的PMNT薄膜.
연구용용효-응효방법제비PMNT(니미산연)박막적공예과정.통과XRD화SPM계통지분석료열처리조건(열해온도화퇴화조건)여PMNT박막적형태.결정화취향적대응관계,이건립기제비고도취향PMNT박막적공예.병성공지재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비성(111)취향적PMNT박막.
