材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2005年
9期
87-90
,共4页
侯杰%杨君友%朱文%郜鲜辉
侯傑%楊君友%硃文%郜鮮輝
후걸%양군우%주문%고선휘
纳米超晶格%ECALE%欠电位沉积%原子层外延
納米超晶格%ECALE%欠電位沉積%原子層外延
납미초정격%ECALE%흠전위침적%원자층외연
电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长.详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响ECALE过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展.
電化學原子層外延(ECALE)是電化學沉積和原子層外延技術的結閤,通過運用欠電勢技術交替電化學沉積化閤物的組成元素一次一箇原子層而實現外延生長.詳細介紹瞭電化學原子層外延(ECALE)的基本原理和特點,分析瞭影響ECALE過程的關鍵要素,併進一步介紹瞭它在新材料製備中的應用研究進展.
전화학원자층외연(ECALE)시전화학침적화원자층외연기술적결합,통과운용흠전세기술교체전화학침적화합물적조성원소일차일개원자층이실현외연생장.상세개소료전화학원자층외연(ECALE)적기본원리화특점,분석료영향ECALE과정적관건요소,병진일보개소료타재신재료제비중적응용연구진전.
