功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
1期
107-108,111
,共3页
贺中亮%苗鸿雁%谈国强%刘剑%夏傲%娄晶晶
賀中亮%苗鴻雁%談國彊%劉劍%夏傲%婁晶晶
하중량%묘홍안%담국강%류검%하오%루정정
薄膜%自组装单层膜%HfO2
薄膜%自組裝單層膜%HfO2
박막%자조장단층막%HfO2
利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长十八烷基三氯硅烷(OTS)单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.研究了紫外光照射对OTS单分子层的影响,通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜,呈立方型的HfO2,无其它杂相,薄膜表面均一.
利用自組裝單層膜技術,在玻璃基闆上生長十八烷基三氯硅烷(OTS)單分子膜層,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配製HfO2前驅液,通過液相沉積在硅烷的功能性官能糰上誘導生成二氧化鉿薄膜.研究瞭紫外光照射對OTS單分子層的影響,通過接觸角測試儀、AFM、SEM及XRD等手段對膜材料的錶麵形貌和結構進行瞭研究分析.結果錶明,利用自組裝單層法成功製備齣HfO2晶態薄膜,呈立方型的HfO2,無其它雜相,薄膜錶麵均一.
이용자조장단층막기술,재파리기판상생장십팔완기삼록규완(OTS)단분자막층,이Hf(SO4)2·4H2O화HCl배제HfO2전구액,통과액상침적재규완적공능성관능단상유도생성이양화협박막.연구료자외광조사대OTS단분자층적영향,통과접촉각측시의、AFM、SEM급XRD등수단대막재료적표면형모화결구진행료연구분석.결과표명,이용자조장단층법성공제비출HfO2정태박막,정립방형적HfO2,무기타잡상,박막표면균일.
