功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2009年
4期
370-374
,共5页
李栋宇%刘贵昂%潘喜诚%邵乐喜
李棟宇%劉貴昂%潘喜誠%邵樂喜
리동우%류귀앙%반희성%소악희
SnO2薄膜%热氧化法%蒸发
SnO2薄膜%熱氧化法%蒸髮
SnO2박막%열양화법%증발
SnO2 films%thermal oxidization%evaporation
氧化温度有很大的联系.通过UV-VIS透过光谱得知随着氧化温度的升高,SnO2薄膜的光透过率也升高,光学禁带宽度也随着氧化温度的升高而升高.这种制备SnO2薄膜的工艺具有适于大面积制造,低成本,过程容易控制等很多优点.
氧化溫度有很大的聯繫.通過UV-VIS透過光譜得知隨著氧化溫度的升高,SnO2薄膜的光透過率也升高,光學禁帶寬度也隨著氧化溫度的升高而升高.這種製備SnO2薄膜的工藝具有適于大麵積製造,低成本,過程容易控製等很多優點.
양화온도유흔대적련계.통과UV-VIS투과광보득지수착양화온도적승고,SnO2박막적광투과솔야승고,광학금대관도야수착양화온도적승고이승고.저충제비SnO2박막적공예구유괄우대면적제조,저성본,과정용역공제등흔다우점.
ique developed in this work also has many advantages than other methods for fabricating SnO2 films, such as easiness in large area fabrication, low-cost, high reliability in control processing.
