黑龙江大学工程学报
黑龍江大學工程學報
흑룡강대학공정학보
JOURNAL OF HEILONGJIANG HYDRAULIC ENGINEERING COLLEGE
2010年
4期
51-57
,共7页
袁福龙%朱宇君%闫永达%袁博%郭永峰%梁迎春
袁福龍%硃宇君%閆永達%袁博%郭永峰%樑迎春
원복룡%주우군%염영체%원박%곽영봉%량영춘
AFM%二氧化硅%化学热力学%化学动力学
AFM%二氧化硅%化學熱力學%化學動力學
AFM%이양화규%화학열역학%화학동역학
以原子力显微镜为工具,在空气条件下对单晶硅片表面加工得到下凹的三维微结构.给出了AFM金刚石针尖在对单晶硅的微加工中的化学反应和加工模型.对加工条件下发生的化学反应及其原理进行了理论分析.用化学热力学定律、化学动力学原理和相关的热力学数据自由能、生成热、化学键能、活化能等分析加工过程中发生的反应是空气中O2与单晶硅Si反应生成二氧化硅的过程;金刚石针尖磨损发生的反应主要是空气中O2与金刚石针尖C反应生成CO2的过程.
以原子力顯微鏡為工具,在空氣條件下對單晶硅片錶麵加工得到下凹的三維微結構.給齣瞭AFM金剛石針尖在對單晶硅的微加工中的化學反應和加工模型.對加工條件下髮生的化學反應及其原理進行瞭理論分析.用化學熱力學定律、化學動力學原理和相關的熱力學數據自由能、生成熱、化學鍵能、活化能等分析加工過程中髮生的反應是空氣中O2與單晶硅Si反應生成二氧化硅的過程;金剛石針尖磨損髮生的反應主要是空氣中O2與金剛石針尖C反應生成CO2的過程.
이원자력현미경위공구,재공기조건하대단정규편표면가공득도하요적삼유미결구.급출료AFM금강석침첨재대단정규적미가공중적화학반응화가공모형.대가공조건하발생적화학반응급기원리진행료이론분석.용화학열역학정률、화학동역학원리화상관적열역학수거자유능、생성열、화학건능、활화능등분석가공과정중발생적반응시공기중O2여단정규Si반응생성이양화규적과정;금강석침첨마손발생적반응주요시공기중O2여금강석침첨C반응생성CO2적과정.
