光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2003年
6期
723-726
,共4页
蒋培军%齐国生%徐端颐%李庆祥%李晟%李玉和
蔣培軍%齊國生%徐耑頤%李慶祥%李晟%李玉和
장배군%제국생%서단이%리경상%리성%리옥화
母盘刻录%精密运动工作台%前馈控制%线光栅
母盤刻錄%精密運動工作檯%前饋控製%線光柵
모반각록%정밀운동공작태%전궤공제%선광책
设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统.工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具.采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器.实验结果表明,该系统可以满足母盘刻录机的要求.
設計併研製瞭用于母盤刻錄機的高精密運動工作檯及其控製繫統.工作檯控製繫統採用線光柵作為工作檯位移檢測工具.採用數字位置環和模擬電流環組成雙閉環隨動繫統,其中位置控製器是帶有速度前饋和加速度前饋的數字PID伺服濾波器.實驗結果錶明,該繫統可以滿足母盤刻錄機的要求.
설계병연제료용우모반각록궤적고정밀운동공작태급기공제계통.공작태공제계통채용선광책작위공작태위이검측공구.채용수자위치배화모의전류배조성쌍폐배수동계통,기중위치공제기시대유속도전궤화가속도전궤적수자PID사복려파기.실험결과표명,해계통가이만족모반각록궤적요구.
