真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
6期
482-486
,共5页
水蒸汽阻隔层%等离子体增强化学气沉积%SiOx薄膜
水蒸汽阻隔層%等離子體增彊化學氣沉積%SiOx薄膜
수증기조격층%등리자체증강화학기침적%SiOx박막
在射频等离子体放电条件下,以六甲基二硅氧烷(Hexamethyldisilone,HMDSO)为单体,氧气为反应气体,在PET薄膜及载玻片上聚合SiOx薄膜.通过红外光谱(FTIR)分析了工作压强、功率、单体氧气比、聚合时间等对聚合薄膜的结构和沉积速度的影响;通过扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测试了薄膜厚度,计算了沉积速率并对薄膜的均匀性做了研究.在38℃恒温水浴箱中进行的水蒸汽阻隔实验表明,PET薄膜的阻隔性能得到有效的提高.
在射頻等離子體放電條件下,以六甲基二硅氧烷(Hexamethyldisilone,HMDSO)為單體,氧氣為反應氣體,在PET薄膜及載玻片上聚閤SiOx薄膜.通過紅外光譜(FTIR)分析瞭工作壓彊、功率、單體氧氣比、聚閤時間等對聚閤薄膜的結構和沉積速度的影響;通過掃描電子顯微鏡(SEM)觀察瞭薄膜的錶麵形貌;通過錶麵輪廓儀測試瞭薄膜厚度,計算瞭沉積速率併對薄膜的均勻性做瞭研究.在38℃恆溫水浴箱中進行的水蒸汽阻隔實驗錶明,PET薄膜的阻隔性能得到有效的提高.
재사빈등리자체방전조건하,이륙갑기이규양완(Hexamethyldisilone,HMDSO)위단체,양기위반응기체,재PET박막급재파편상취합SiOx박막.통과홍외광보(FTIR)분석료공작압강、공솔、단체양기비、취합시간등대취합박막적결구화침적속도적영향;통과소묘전자현미경(SEM)관찰료박막적표면형모;통과표면륜곽의측시료박막후도,계산료침적속솔병대박막적균균성주료연구.재38℃항온수욕상중진행적수증기조격실험표명,PET박막적조격성능득도유효적제고.
