工程热物理学报
工程熱物理學報
공정열물이학보
JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS
2008年
4期
579-582
,共4页
祁志国%杜建一%黄典贵%徐建中%张震宇
祁誌國%杜建一%黃典貴%徐建中%張震宇
기지국%두건일%황전귀%서건중%장진우
气体混合%微尺度流动%MEMS%DSMC
氣體混閤%微呎度流動%MEMS%DSMC
기체혼합%미척도류동%MEMS%DSMC
气体混合流动在MEMS的应用中常常遇到.本文采用直接模拟Monte Carlo方法研究了氮气和氧气在微尺度中的流动混合问题.数值模拟中设定两种气体分别以不同的速度,相同的数密度进入微槽道.当经过分割平板之后,两种气体发生混合.在对结果的分析中发现,进入速度对两种气体完全混合后的混合距离,以及完全混合后的单组份气体占混合气体的比例都会产生重要的影响.
氣體混閤流動在MEMS的應用中常常遇到.本文採用直接模擬Monte Carlo方法研究瞭氮氣和氧氣在微呎度中的流動混閤問題.數值模擬中設定兩種氣體分彆以不同的速度,相同的數密度進入微槽道.噹經過分割平闆之後,兩種氣體髮生混閤.在對結果的分析中髮現,進入速度對兩種氣體完全混閤後的混閤距離,以及完全混閤後的單組份氣體佔混閤氣體的比例都會產生重要的影響.
기체혼합류동재MEMS적응용중상상우도.본문채용직접모의Monte Carlo방법연구료담기화양기재미척도중적류동혼합문제.수치모의중설정량충기체분별이불동적속도,상동적수밀도진입미조도.당경과분할평판지후,량충기체발생혼합.재대결과적분석중발현,진입속도대량충기체완전혼합후적혼합거리,이급완전혼합후적단조빈기체점혼합기체적비례도회산생중요적영향.
