传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
7期
123-125
,共3页
光栅传感器%莫尔条纹%线位移%角位移%线性度%精确度
光柵傳感器%莫爾條紋%線位移%角位移%線性度%精確度
광책전감기%막이조문%선위이%각위이%선성도%정학도
实验将新型光栅传感器应用于微位移测量之中.通过比较线(角)位移与莫尔条纹移动个数之间的关系,实验发现,在微位移测量中光栅传感器具有极好的线性度(R2≥0.999)和精确度(误差≤2.0％).实验验证了光栅传感器在微位移测量中可行性和可靠性.
實驗將新型光柵傳感器應用于微位移測量之中.通過比較線(角)位移與莫爾條紋移動箇數之間的關繫,實驗髮現,在微位移測量中光柵傳感器具有極好的線性度(R2≥0.999)和精確度(誤差≤2.0％).實驗驗證瞭光柵傳感器在微位移測量中可行性和可靠性.
실험장신형광책전감기응용우미위이측량지중.통과비교선(각)위이여막이조문이동개수지간적관계,실험발현,재미위이측량중광책전감기구유겁호적선성도(R2≥0.999)화정학도(오차≤2.0％).실험험증료광책전감기재미위이측량중가행성화가고성.
