微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
4期
53-56
,共4页
电极层%压电悬臂梁%动态性能
電極層%壓電懸臂樑%動態性能
전겁층%압전현비량%동태성능
采用解析方法就电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响进行了研究,并得出结论:当弹性层、压电层与电极层的厚度比值较大时,可忽略电极层对压电悬臂梁横向位移及谐振频率的影响.当各层的厚度都在微纳米量级时,电极层的影响不容忽视;同时,微纳尺度下该解析方法的适用性还有待进一步研究.这些对微纳尺度下压电悬臂梁的设计及应用都有一定的指导作用.
採用解析方法就電極層對壓電微懸臂樑動態性能的影響進行瞭研究,併得齣結論:噹彈性層、壓電層與電極層的厚度比值較大時,可忽略電極層對壓電懸臂樑橫嚮位移及諧振頻率的影響.噹各層的厚度都在微納米量級時,電極層的影響不容忽視;同時,微納呎度下該解析方法的適用性還有待進一步研究.這些對微納呎度下壓電懸臂樑的設計及應用都有一定的指導作用.
채용해석방법취전겁층대압전미현비량동태성능적영향진행료연구,병득출결론:당탄성층、압전층여전겁층적후도비치교대시,가홀략전겁층대압전현비량횡향위이급해진빈솔적영향.당각층적후도도재미납미량급시,전겁층적영향불용홀시;동시,미납척도하해해석방법적괄용성환유대진일보연구.저사대미납척도하압전현비량적설계급응용도유일정적지도작용.
