CAJ | 학술논문

聚四氟乙烯结构氟碳聚合物(Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon,PTFE-like FC)薄膜具有超低介电常数、高疏水性和生物相容性等优点.综述了国外制备PTFE-like FC薄膜的实验进展,分析了PTFE-like FC薄膜可能的沉积机理,指出热丝化学气相沉积(HFCVD)和射频等离子体辅助的化学气相沉积(rf-PECVD)这2种方法更有利于减少离子对薄膜表面的轰击作用,被认为是目前沉积PTFE-like FC薄膜最好的2种方法.介绍了利用介质阻挡放电(DBD)方法在低气压下制备PTFE-like FC薄膜的最新进展.
취사불을희결구불탄취합물(Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon,PTFE-like FC)박막구유초저개전상수、고소수성화생물상용성등우점.종술료국외제비PTFE-like FC박막적실험진전,분석료PTFE-like FC박막가능적침적궤리,지출열사화학기상침적(HFCVD)화사빈등리자체보조적화학기상침적(rf-PECVD)저2충방법경유리우감소리자대박막표면적굉격작용,피인위시목전침적PTFE-like FC박막최호적2충방법.개소료이용개질조당방전(DBD)방법재저기압하제비PTFE-like FC박막적최신진전.