功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
10期
1612-1614
,共3页
丁明惠%张宏森%张丽丽%王颖
丁明惠%張宏森%張麗麗%王穎
정명혜%장굉삼%장려려%왕영
Zr-N薄膜%扩散阻挡层%Cu互连%射频反应磁控溅射
Zr-N薄膜%擴散阻擋層%Cu互連%射頻反應磁控濺射
Zr-N박막%확산조당층%Cu호련%사빈반응자공천사
在不同的沉积温度下,用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了Zr-N阻挡层.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、XRD、AES研究了沉积温度对Zr-N薄膜扩散阻挡性能的影响.沉积态的XRD、AFM结果表明,随着沉积温度的升高,Zr-N薄膜的结构由非晶态向晶态转变,晶粒的尺寸增大;650℃退火后的FPP、XRD、AES的对比结果说明沉积温度的升高有利于提高Zr-N薄膜的扩散阻挡性能.
在不同的沉積溫度下,用射頻反應磁控濺射的方法在Si(100)襯底和Cu膜間製備瞭Zr-N阻擋層.用四探針電阻測試儀(FPP)、AFM、XRD、AES研究瞭沉積溫度對Zr-N薄膜擴散阻擋性能的影響.沉積態的XRD、AFM結果錶明,隨著沉積溫度的升高,Zr-N薄膜的結構由非晶態嚮晶態轉變,晶粒的呎吋增大;650℃退火後的FPP、XRD、AES的對比結果說明沉積溫度的升高有利于提高Zr-N薄膜的擴散阻擋性能.
재불동적침적온도하,용사빈반응자공천사적방법재Si(100)츤저화Cu막간제비료Zr-N조당층.용사탐침전조측시의(FPP)、AFM、XRD、AES연구료침적온도대Zr-N박막확산조당성능적영향.침적태적XRD、AFM결과표명,수착침적온도적승고,Zr-N박막적결구유비정태향정태전변,정립적척촌증대;650℃퇴화후적FPP、XRD、AES적대비결과설명침적온도적승고유리우제고Zr-N박막적확산조당성능.
