中心波长121.6nm的真空紫外窄带滤光片设计和制备
중심파장121.6nm적진공자외착대려광편설계화제비
Design and Preparation of Narrowband Filter with Central Wavelength 121.6 nm in Vacuum Ultraviolet Region
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    2008年 12期 2427-2430 ,共4页

    付联效%吴永刚%郑秀萍%王振华%彭东功%焦宏飞%曹鸿%吕刚%周洪军%霍同林

    부련효%오영강%정수평%왕진화%팽동공%초굉비%조홍%려강%주홍군%곽동림

    薄膜光学%窄带滤光片%峰值透射率%通带半宽度%制备 薄膜光學%窄帶濾光片%峰值透射率%通帶半寬度%製備
    박막광학%착대려광편%봉치투사솔%통대반관도%제비
    采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6 am的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7 nm.通过设计、制备和测量峰值波长在217 nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确.在此基础上制备了121.6 nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74 nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12 nm.可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析.
    채용쌍반파법포리-박라(F-P)간섭려광편결구설계료중심파장재121.6 am적착대려광편,기봉치투사솔위6.78%,통대반관도위10.7 nm.통과설계、제비화측량봉치파장재217 nm적려광편험증료설계용도적광학상수화막후정표도비교정학.재차기출상제비료121.6 nm적착대려광편,도합비동보복사실험실측량적결과시중심파장재120.74 nm,봉치투사솔위5.94%,통대반관도위12 nm.가이간출실제제비적려광편화예선설계적기본문합단환시유일정적편차,최후대실제측량적화이론설계적편차진행료분석.
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