光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
7期
1096-1100
,共5页
丁文革%苑静%李文博%李彬%于威%傅广生
丁文革%苑靜%李文博%李彬%于威%傅廣生
정문혁%원정%리문박%리빈%우위%부엄생
氢化非晶硅%透射谱%薄膜厚度%光学常量
氫化非晶硅%透射譜%薄膜厚度%光學常量
경화비정규%투사보%박막후도%광학상량
采用紫外-可见透射光谱仪测量了对靶磁控溅射沉积法制备的氢化非晶硅( a-Si:H)薄膜的透射光谱和反射光谱.利用T/(1-R)方法来确定薄膜的吸收系数,进而得到薄膜的消光系数；通过拟合薄膜透射光谱干涉极大值和极小值的包络线采确定薄膜折射率和厚度的初始值,并利用干涉极值公式进一步优化薄膜的厚度值和折射率；利用柯西公式对得到的薄膜折射率进行拟合,给出了a-Si:H薄膜的色散关系曲线.为了验证该方法确定的薄膜厚度和光学常量的可靠性,将理论计算得到的透射光谱与实验数据进行了比较,结果显示两条曲线基本重合,可见这是确定a-Si:H薄膜厚度及光学常量的一种有效方法.
採用紫外-可見透射光譜儀測量瞭對靶磁控濺射沉積法製備的氫化非晶硅( a-Si:H)薄膜的透射光譜和反射光譜.利用T/(1-R)方法來確定薄膜的吸收繫數,進而得到薄膜的消光繫數；通過擬閤薄膜透射光譜榦涉極大值和極小值的包絡線採確定薄膜摺射率和厚度的初始值,併利用榦涉極值公式進一步優化薄膜的厚度值和摺射率；利用柯西公式對得到的薄膜摺射率進行擬閤,給齣瞭a-Si:H薄膜的色散關繫麯線.為瞭驗證該方法確定的薄膜厚度和光學常量的可靠性,將理論計算得到的透射光譜與實驗數據進行瞭比較,結果顯示兩條麯線基本重閤,可見這是確定a-Si:H薄膜厚度及光學常量的一種有效方法.
채용자외-가견투사광보의측량료대파자공천사침적법제비적경화비정규( a-Si:H)박막적투사광보화반사광보.이용T/(1-R)방법래학정박막적흡수계수,진이득도박막적소광계수；통과의합박막투사광보간섭겁대치화겁소치적포락선채학정박막절사솔화후도적초시치,병이용간섭겁치공식진일보우화박막적후도치화절사솔；이용가서공식대득도적박막절사솔진행의합,급출료a-Si:H박막적색산관계곡선.위료험증해방법학정적박막후도화광학상량적가고성,장이론계산득도적투사광보여실험수거진행료비교,결과현시량조곡선기본중합,가견저시학정a-Si:H박막후도급광학상량적일충유효방법.
