CAJ | 학술논문

介绍了以GH07X热阴极电离超高真空计为核心的双重真空保护模块的设计和应用.实验结果表明,GH07X对真空系统压力突变的快速报警响应时间可小于200μs,慢速报警响应时间小于100ms.实验数据还表明,快速报警响应时间与气体分子浓度和真空计规管灯丝的发射电流密切相关.分析比较了溅射离子泵、冷阴极电离超高真空计、热阴极电离超高真空计等作为真空保护传感器的不同电子学设计.与国内外报道的其它光束线真空保护模块设计相比,GH07X真空计独有的双重真空保护模块设计,使得光束线真空保护控制系统响应更快、更可靠.
개소료이GH07X열음겁전리초고진공계위핵심적쌍중진공보호모괴적설계화응용.실험결과표명,GH07X대진공계통압력돌변적쾌속보경향응시간가소우200μs,만속보경향응시간소우100ms.실험수거환표명,쾌속보경향응시간여기체분자농도화진공계규관등사적발사전류밀절상관.분석비교료천사리자빙、랭음겁전리초고진공계、열음겁전리초고진공계등작위진공보호전감기적불동전자학설계.여국내외보도적기타광속선진공보호모괴설계상비,GH07X진공계독유적쌍중진공보호모괴설계,사득광속선진공보호공제계통향응경쾌、경가고.