红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2003年
3期
213-216
,共4页
郜小勇%张晋敏%凌浩%王松有%吴嘉达%杨月梅%陈良尧
郜小勇%張晉敏%凌浩%王鬆有%吳嘉達%楊月梅%陳良堯
고소용%장진민%릉호%왕송유%오가체%양월매%진량요
椭偏光谱%电子回旋共振%反常色散%拉曼散射
橢偏光譜%電子迴鏇共振%反常色散%拉曼散射
타편광보%전자회선공진%반상색산%랍만산사
报道了退火对电子回旋共振(ECR)辅助脉冲激光溅射方法制备的CNx薄膜样品光学性质的影响.X射线衍射(XRD)结果显示CNx薄膜基本为无定形结构,但存在微量的多晶结构.拉曼散射谱显示所制备的CNx薄膜样品主要由CN、少量的C-C和微量的CN组成.随着退火温度的升高,拉曼散射谱不但在1357cm-1附近出现了一个新峰(新峰对应无序的CN键),而且CN和CN的相对含量比随着退火温度的提高大致呈先减小后增大再减小的趋势,从而证实在退火过程中部分N原子发生了迁移.椭偏仪所测量的CNx薄膜的光学常数表明退火温度对ε1、ε2、n、k的大小和谱线的形状均产生了显著影响.结合拉曼散射谱可断定其原因为退火改变了CNx薄膜样品的内部结构和键结构.实验中得到的ε1、ε2、n、k随光子能量的变化关系可用洛伦兹色散理论得到很好解释.
報道瞭退火對電子迴鏇共振(ECR)輔助脈遲激光濺射方法製備的CNx薄膜樣品光學性質的影響.X射線衍射(XRD)結果顯示CNx薄膜基本為無定形結構,但存在微量的多晶結構.拉曼散射譜顯示所製備的CNx薄膜樣品主要由CN、少量的C-C和微量的CN組成.隨著退火溫度的升高,拉曼散射譜不但在1357cm-1附近齣現瞭一箇新峰(新峰對應無序的CN鍵),而且CN和CN的相對含量比隨著退火溫度的提高大緻呈先減小後增大再減小的趨勢,從而證實在退火過程中部分N原子髮生瞭遷移.橢偏儀所測量的CNx薄膜的光學常數錶明退火溫度對ε1、ε2、n、k的大小和譜線的形狀均產生瞭顯著影響.結閤拉曼散射譜可斷定其原因為退火改變瞭CNx薄膜樣品的內部結構和鍵結構.實驗中得到的ε1、ε2、n、k隨光子能量的變化關繫可用洛倫玆色散理論得到很好解釋.
보도료퇴화대전자회선공진(ECR)보조맥충격광천사방법제비적CNx박막양품광학성질적영향.X사선연사(XRD)결과현시CNx박막기본위무정형결구,단존재미량적다정결구.랍만산사보현시소제비적CNx박막양품주요유CN、소량적C-C화미량적CN조성.수착퇴화온도적승고,랍만산사보불단재1357cm-1부근출현료일개신봉(신봉대응무서적CN건),이차CN화CN적상대함량비수착퇴화온도적제고대치정선감소후증대재감소적추세,종이증실재퇴화과정중부분N원자발생료천이.타편의소측량적CNx박막적광학상수표명퇴화온도대ε1、ε2、n、k적대소화보선적형상균산생료현저영향.결합랍만산사보가단정기원인위퇴화개변료CNx박막양품적내부결구화건결구.실험중득도적ε1、ε2、n、k수광자능량적변화관계가용락륜자색산이론득도흔호해석.
