机器人
機器人
궤기인
ROBOT
2004年
1期
32-34
,共3页
孙绍云%曲东升%孙立宁%王力%蔡鹤皋
孫紹雲%麯東升%孫立寧%王力%蔡鶴皋
손소운%곡동승%손립저%왕력%채학고
宏/微驱动%直线电机%PZT驱动器%滑模变结构控制
宏/微驅動%直線電機%PZT驅動器%滑模變結構控製
굉/미구동%직선전궤%PZT구동기%활모변결구공제
研究了具有宏/微双重驱动定位工作台的滑模变结构控制技术.该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动,利用光栅尺实现闭环位移反馈,可以实现100mm的工作行程,0.01μm的重复定位精度.
研究瞭具有宏/微雙重驅動定位工作檯的滑模變結構控製技術.該工作檯採用直線電機進行大行程位移驅動,來保證較大的工作行程和較快的響應速度,採用壓電陶瓷微位移器完成精密位移驅動,利用光柵呎實現閉環位移反饋,可以實現100mm的工作行程,0.01μm的重複定位精度.
연구료구유굉/미쌍중구동정위공작태적활모변결구공제기술.해공작태채용직선전궤진행대행정위이구동,래보증교대적공작행정화교쾌적향응속도,채용압전도자미위이기완성정밀위이구동,이용광책척실현폐배위이반궤,가이실현100mm적공작행정,0.01μm적중복정위정도.
